Электронные газы

При полном процессе изготовления интегральных микросхем используются более 30 технологических газов. Надежные поставки данных газов играют очень важное значение при организации производства.

Газы, используемые в технологических процессах отвечают очень высоким требованиям по чистоте: азот используется для обеспечения инертной среды и для продувки; кислород - для окисления кремния; водород - для создания восстановительной среды или для отжига металлических пленок; аргон - для напыления металлов и для обеспечения инертной среды, где даже азот может вступать в реакцию.

Для работы с электронными газами используется оборудование Ultra High Purity (UHP) класса. Системы подачи газов для электронной промышленности должны отвечать очень высоким требованиям по качеству: VCR соединения, электрохимполировка внутренней поверхности, орбитальная сварки, и по безопасности: автоматизированные газовые шкафы, автоматизированная система продувки, детекция утечки газов.

Электронные газы поставляются в газообразном или жидком виде в многооборотной таре различного объема с различными типами соединений стандартов The German Standard (DIN 477), British Standard (BS341), Compressed Gas Association Standards (CGA), крупнотоннажным объема в танк-контейнерах.