Гексафторэтан C₂F₄n

Спецификация

C2F4N	Ед. изм.	5.0
Состав
Содержание основного вещества, не менее	об.%	≥99,999
Примеси
N2	ppmv	<4
O2	ppmv	<1
Общие углеводороды	ppmv	<1
CO2	ppmv	<2
CO	ppmv	<1
H2O	ppmv	<1
Кислотность по HF	ppmv	<0.1

Свойства

Гексафторэтан (гексафторид углерода) - газ, относится к группе алкенов и их производных.

• бесцветный газ
• без запаха
• относительно инертный
• не горит
• нетоксичнен
• незначительно растворяется в воде
• слабо растворяется в спирте
• чрезвычайно мощный и долгоживущий парниковый газ
• пары могут вызвать головокружение или удушье
• пары сжиженного газа изначально тяжелее воздуха и распределяются по земле
• контакт с веществом может привести к ожогам, тяжелой травме, обморожению

Применение

Гексафторэтан (хладон 116) применяется как универсальный травитель при изготовлении полупроводников. Кроме того, газ используется для избирательного травления силицидов и оксидов металлов по сравнению с их металлическими подложками, а также для травления диоксида кремния над кремнием . Вместе с трифторметаном используется в хладагентах R508A (61%) и R508B (54%).

Получение

Хладон 116 производят путем соединения этана с фтором.

Транспортировка

ADR Класс 2A. Транспортировка производится согласно международному соглашению о транспортировке опасных веществ ДОПОГ. Применение, хранение и перевозка вещества допустима при температуре ниже 45 градусов по Цельсию. Хранение допускается в прохладных помещениях с хорошей вентиляцией. Рекомендовано держать баллоны с газом вдали от источников тепла, огня, солнечного света и горючих веществ.

---