Силан SiH₄

Спецификация

SiH4	Ед. изм.	Моносилан 5.0	Моносилан 6.0
Состав
SiH4	об.%	≥99,999	≥99,9999
Примеси
Ar	ppmv	≤1	≤0.05
O2	ppmv	≤0.1	≤0.06
CO2	ppmv	≤0.5	≤0.05
CO	ppmv	≤0.5	≤0.05
Хлорсиланы	ppmv	≤0.5	≤0.15
He	ppmv	≤5	≤1
Дисилан	ppmv	-	≤0.5
H2	ppmv	≤100	≤20
CH4	ppmv	≤0.5	≤0.05
N2	ppmv	≤5	≤1
H2O	ppmv	≤2	≤0.5
Дисилоксан	ppmv	-	≤0.5
Метилсилан	ppmv	-	≤0.5
Уд. сопротивлене	ppmv	≥7500 ом-см	≥10000 ом-см

Свойства

Силан газ (SiH4, кремневодород, гидрид кремния, моносилан) - это бинарное неорганическое соединение кремния с водородом.

• Бесцветный газ с неприятным запахом
• Токсичен
• Самовоспламеняется на воздухе
• Вступает в реакцию с водой
• Не растворяется в этаноле и бензоле

Применение

Газ силан, гидрид кремния, применяется в качестве источника кремния при производстве полупроводников, как источник водорода в химических реакциях.Кроме того, он необходим для создания кристаллических и тонкоплёночных фотопреобразователей на основе кремния, жидкокристаллических экранов, подложек и технологических слоев интегральных схем.

Получение

Гидрид кремния получают в условиях лабораторий при взаимодействии силицида магния с разбавленной фосфорной кислотой. Другой способ — реакция тетрахлорида кремния и тетрагидроалюмината лития.

Транспортировка

ADR Класс 2F. Перевозка осуществляется в соответствии с международным соглашением о перевозке опасных грузов ДОПОГ, соблюдая все меры безопасности. При хранении и транспортировке газа силана необходимо обеспечить огнестойкость, так как вещество является пирофорным. Не использовать вблизи открытый огонь, не допускать возникновения искр.

---