Триметилсилан C₃H₁₀Si

Спецификация

C3H10Si	Ед. изм.
Состав
C3H10Si	об.%	≥99,96
Примеси
метилтрихлорсилана	ppmv	<0,1
диметилдихлорсилана	ppmv	<0,1
метилдихлорсилана	ppmv	<0,1
неидентифицированных органических примесей	ppmv	<0,2
хлористого метила	ppmv	-

Свойства

Триметилсилан (Trimethylchlorosilane) - триалкилсилан, кремнийорганическое соединение с формулой (CH 3)3SiH.

• Бесцветная подвижная жидкость
• Обладает резким запахом
• Кипит при 6,7°C
• Дымит во влажном воздухе
• Жидкость стабильна в отсутствие влаги
• Легко воспламеняется

Применение

Газ нашел свое применение:

• при производстве полупроводников как прекурсор для нанесения диэлектриков и защитных слоев с помощью химического осаждения из паровой фазы;
• как исходный газ для нанесения твердых покрытий с помощью плазменного магнетронного распыления.

Получение

В промышленных условиях газ синтезируют методом Мюллера-Рохова. При этом параллельно получают диметилдихлорсилан и метилтрихлорсилан. Расщепление смеси метилхлорсиланов производится методом дистилляции.

Транспортировка

ADR Класс 3FC. Согласно требованиям ДОПОГ, вещество должно перевозиться при соблюдении всех необходимых требований безопасности. При хранении и транспортировке триметилсилана необходимо обеспечить огнезащиту, так как вещество чрезвычайно легко воспламеняется. Не использовать вблизи баллонов открытый огонь, не допускать возникновения искр.

---