Триметилсилан C3H10Si

Английское наименование:Trimethylchlorosilane

CAS: 993-07-7

Информация об опасности: Код ООН 1298

Транспортировка:

ADR Класс 3FC

транспортировка газа диоксида углерода транспортировка газа диоксида углерода транспортировка газа диоксида углерода

Основные свойства: Бесцветная подвижная жидкость с резким запахом и низкой температурой кипения. Дымит во влажном воздухе. Устойчива в отсутствии влаги.

Физические характеристики:

Молекулярная масса: 74.19 кг/кмоль

Точка кипения при 1,013бар: 57⁰С


Спецификация

C3H10Si

Ед. изм.

Состав

C3H10Si

об.%

≥99,96

Примеси

метилтрихлорсилана

ppmv

<0,1

диметилдихлорсилана

ppmv

<0,1

метилдихлорсилана

ppmv

<0,1

неидентифицированных органических примесей

ppmv

<0,2

хлористого метила

ppmv

-

Свойства

Триметилсилан (Trimethylchlorosilane) - триалкилсилан, кремнийорганическое соединение с формулой (CH 3)3SiH.

  • Бесцветная подвижная жидкость
  • Обладает резким запахом
  • Кипит при 6,7°C
  • Дымит во влажном воздухе
  • Жидкость стабильна в отсутствие влаги
  • Легко воспламеняется

Применение

Газ нашел свое применение:

  • при производстве полупроводников как прекурсор для нанесения диэлектриков и защитных слоев с помощью химического осаждения из паровой фазы;
  • как исходный газ для нанесения твердых покрытий с помощью плазменного магнетронного распыления.

Получение

В промышленных условиях газ синтезируют методом Мюллера-Рохова. При этом параллельно получают диметилдихлорсилан и метилтрихлорсилан. Расщепление смеси метилхлорсиланов производится методом дистилляции.

Транспортировка

ADR Класс 3FC. Согласно требованиям ДОПОГ, вещество должно перевозиться при соблюдении всех необходимых требований безопасности. При хранении и транспортировке триметилсилана необходимо обеспечить огнезащиту, так как вещество чрезвычайно легко воспламеняется. Не использовать вблизи баллонов открытый огонь, не допускать возникновения искр.


Применение

Общество с ограниченной ответственностью «БК Групп»
111524 г. Москва, ул.Электродная, д.2 стр.12
Тел. +7 495 118-41-95
e-mail: Этот адрес электронной почты защищен от спам-ботов. У вас должен быть включен JavaScript для просмотра. www.bk-group.org

Логотип БК Групп