Триметилсилан C3H10Si
Английское наименование:Trimethylchlorosilane
CAS: 993-07-7
Информация об опасности: Код ООН 1298
Транспортировка:
ADR Класс 3FC



Основные свойства: Бесцветная подвижная жидкость с резким запахом и низкой температурой кипения. Дымит во влажном воздухе. Устойчива в отсутствии влаги.
Физические характеристики:
Молекулярная масса: 74.19 кг/кмоль
Точка кипения при 1,013бар: 57⁰С
Спецификация
C3H10Si |
Ед. изм. |
|
||
Состав |
||||
C3H10Si |
об.% |
≥99,96 |
||
Примеси |
||||
метилтрихлорсилана |
ppmv |
<0,1 |
||
диметилдихлорсилана |
ppmv |
<0,1 |
||
метилдихлорсилана |
ppmv |
<0,1 |
||
неидентифицированных органических примесей |
ppmv |
<0,2 |
||
хлористого метила |
ppmv |
- |
Свойства
Триметилсилан (Trimethylchlorosilane) - триалкилсилан, кремнийорганическое соединение с формулой (CH 3)3SiH.
- Бесцветная подвижная жидкость
- Обладает резким запахом
- Кипит при 6,7°C
- Дымит во влажном воздухе
- Жидкость стабильна в отсутствие влаги
- Легко воспламеняется
Применение
Газ нашел свое применение:
- при производстве полупроводников как прекурсор для нанесения диэлектриков и защитных слоев с помощью химического осаждения из паровой фазы;
- как исходный газ для нанесения твердых покрытий с помощью плазменного магнетронного распыления.
Получение
В промышленных условиях газ синтезируют методом Мюллера-Рохова. При этом параллельно получают диметилдихлорсилан и метилтрихлорсилан. Расщепление смеси метилхлорсиланов производится методом дистилляции.
Транспортировка
ADR Класс 3FC. Согласно требованиям ДОПОГ, вещество должно перевозиться при соблюдении всех необходимых требований безопасности. При хранении и транспортировке триметилсилана необходимо обеспечить огнезащиту, так как вещество чрезвычайно легко воспламеняется. Не использовать вблизи баллонов открытый огонь, не допускать возникновения искр.
Применение
Общество с ограниченной ответственностью «БК Групп»
г. Москва, Дербеневская наб., д. 7, стр. 2
Тел. +7 495 118-41-95
e-mail:
Этот адрес электронной почты защищен от спам-ботов. У вас должен быть включен JavaScript для просмотра.
www.bk-group.org
