Монтаж газовых шкафов

Виды и комплектация газовых шкафов

• Корпуса: порошково-окрашенная сталь или AISI 304/316L; смотровые окна из закалённого/ламин. стекла, опция огнестойкости.
  

• Арматура и редуцирование: одно-/двухступенчатые редукторы или газовые панели, блок автоматического переключения (change-over), обратные клапаны, предохранительные мембраны.
  

• Соединения и трубопроводы: VCR/face-seal, орбитальная сварка, электрополировка; фиксаторы баллонов, направляющие.
  

• Продувка/детекция/вентиляция: линии N₂, ПИД-детекторы H₂/СО/углеводородов, контроль кратности воздухообмена, датчики потока.
  

• Пожарная безопасность: термозамки, отсечные клапаны, байпас аварийной продувки, кабель-огнестойкость по трассам.
  

• Контроль и связь: датчики давления/герметичности, сигнализация, dry-contact/Modbus/Profibus в BMS/АСУ ТП, журналы событий.
  

• Эксплуатация: поддоны-адсорберы, каплеуловители, заземление, маркировка контуров, таблички с уставками и схемой.
  

Особенности шкафов для чистых газов

Шкафы для чистых газов проектируются под UHP-совместимость: минимальные «мертвые зоны», гладкость поверхности, пассивация и чистый монтаж. Шкафы для чистых газов предусматривают контроль частиц и влаги, продувку до стабильного значения, протоколы опрессовки и утечек. Шкафы для чистых газов комплектуются трассируемой арматурой (серийные номера, сертификаты материалов), а также калиброванными расходомерами/датчиками для повторяемости процедур.

Особенности для производства микроэлектроники

Для литографии, CVD/ALD, диффузии применяются газовые шкафы для микроэлектроники с контролем ppb-уровней примесей и стабильной подачей при микродебитах. Газовые шкафы для микроэлектроники образуют единую систему «шкаф — распределительная панель — технологическая линия» с межблокировками E-Stop, контрольными точками отбора проб и резервированием питания критичных каналов.

Ключевые требования:

• отказоустойчивость (N+1 на редукторах/детекции, дублирование сигналов аварии);
  

• регламенты межоперационных процедур (промывка, обкатка, проверка герметичности, оформление протоколов);
  

• согласование уставок и логики тревог с BMS/АСУ ТП, разграничение прав доступа.
  

Проектирование, монтаж, ПНР

1. Обследование: замеры вытяжки, расчет кратности, проверка категорийности, маршруты эвакуации.
   

2. Проект: спецификации материалов/соединений, схемы сигнализации и отключения, перечень ИОТ; ссылки на применимые нормы.
   

3. Монтаж газовых шкафов: контроль крутящих моментов, чистые сборочные практики, маркировка и вязка сигналов.
   

4. ПНР: тесты герметичности/детекции, настройка уставок, интеграция в диспетчеризацию, обучение персонала.
   

5. Документы: паспорта, протоколы продувки/опрессовки, инструкции по эксплуатации; система качества ISO 9001.